測量原理:
本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法,即通過X軸、Z1軸傳感器,測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點,通過電器組件,將傳感器所測量的坐標(biāo)點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?/span>PC機(jī),軟件對所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運算處理,標(biāo)注所需的工程測量項目。
此款儀器已可同國外進(jìn)口儀器性能相比,各方面指標(biāo)已達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn),儀器符合國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T3505-2000, GB/T6062-2001, GB/T10610-1998, 以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO5436, ISO11562,ISO4287的要求
設(shè)備參數(shù):
測量范圍 | X方向驅(qū)動器 | 140mm | |
Z1 | 輪廓度量程 | 60mm | |
Z1 | 分辨率0.1微米 | ||
Z軸高度(立柱) | 400mm | ||
可檢測最小內(nèi)孔 | 5mm | ||
輪廓技術(shù)參數(shù) | 線性精度 | ±(1.2+|0.12H|)μm | |
圓弧 | ±(1.2+R/12)μm | ||
角度 | ±1′ | ||
直線度 | 0.7μm/100mm | ||
傳感器 | 芯片類型 | 美國 | |
分辨率 | 0.1μm | ||
產(chǎn)地 | 美國 | ||
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 | ||
測量速度 | 0.05-20mm/s | ||
Z軸速度 | 0.05-20mm/s |